[发明专利]一种离子注入机的智能工艺互锁控制方法及系统有效
| 申请号： | 201610355192.7 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105867338B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 邓尚上;孙天拓;赖朝荣;王智 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机的智能工艺互锁控制方法及系统，该方法包括如下步骤：收集经过离子注入机的不同工艺产品不同工艺层次的不同工艺过程参数和根据该些工艺过程参数进行离子注入的工艺产品的测量参数；对该些参数进行实时动态分析与处理，将处理后的信息反馈至工艺互锁控制单元；动态优化和调节工艺过程参数，实时采用优化和调节过的工艺过程参数进行离子注入工艺，通过本发明，可提高离子注入工艺的控制精确度，降低时间和人力成本，提高工艺稳定性和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 智能 工艺 互锁 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入机的智能工艺互锁控制方法，包括如下步骤：步骤一，收集经过离子注入机的不同工艺产品不同工艺层次的不同工艺过程参数和根据该些工艺过程参数进行离子注入的工艺产品的测量参数；步骤二，对该些参数进行实时动态分析与处理，将处理后的信息反馈至工艺互锁控制单元；步骤三，动态优化和调节工艺过程参数，实时采用优化和调节过的工艺过程参数进行离子注入工艺。
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