[发明专利]一种Fe2O3纳米薄膜卷曲管的制备方法

摘要

本发明属于纳米薄膜材料制备技术领域，涉及一种Fe2O3纳米薄膜卷曲管的制备方法，利用电子束沉积镀膜技术和纳米膜卷曲技术，先制备单质Fe的纳米膜卷曲管结构，然后在空气气氛下退火得到Fe2O3纳米膜卷曲管；其制备工艺简单，操作方便，原理科学，无污染，环境友好，能够有效控制卷曲管的管壁厚度，制备的纳米膜卷曲管长度能达到几百微米。

主权项

一种Fe2O3纳米薄膜卷曲管的制备方法，其特征在于利用电子束沉积镀膜技术和纳米膜卷曲技术，先制备单质Fe的纳米膜卷曲管结构，然后在空气气氛下退火得到Fe2O3纳米膜卷曲管，具体包括以下步骤：先利用电子束蒸发镀膜仪在铝箔有条纹的一面上先后沉积一层50nm厚度的Al2O3纳米膜、一层20nm厚的Ti纳米膜、一层20nm厚的Fe纳米薄膜；再将铝箔放入浓度为1M的NaOH溶液中浸泡3h，通过化学腐蚀去掉Al2O3和Ti纳米膜，同时，Fe纳米膜在释放的应力作用下卷曲为管状结构，将所得产物用去离子水过滤、洗涤3次，再分别用乙醇、异丙醇依次过滤、洗涤3次，然后将过滤、洗涤后的产物经过CO2超临界干燥12h，得到Fe卷曲管，最后将Fe卷曲管在管式炉中450℃下退火2h，即制备得到Fe2O3纳米膜卷曲管。