[发明专利]一种CIGS太阳电池吸收层的制备方法在审
申请号: | 201610333960.9 | 申请日: | 2016-07-07 |
公开(公告)号: | CN106409934A | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 薛玉明;冯少君;孙海涛;宋殿友;夏丹;俞兵兵;张奥;王玉昆 | 申请(专利权)人: | 天津理工大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/18;C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种CIGS太阳电池吸收层的制备方法,涉及一种薄膜太阳电池吸收层的制备方法,在柔性衬底上依次制备钼背接触层、铜铟镓硒吸收层、硫化镉缓冲层、透明窗口层高阻本征氧化锌薄膜、透明窗口层低阻氧化锌铝薄膜和银上电极,其制备方法是采用吸收层制备工艺完成后再通过蒸发NaF进行后掺Na,然后依次在其表面依次制备各层薄膜。本发明的优点是不仅吸收层晶体质量不受影响,吸收层薄膜晶粒尺寸不变,改善了吸收层的电学性能,能够有效提高薄膜太阳电池的电学性能,与目前同类电池比,采用该吸收层制备电池的光电转换效率可提高20%~30%,其制备方法是以钢性衬底制备柔性电池,易于实施,有利于大规模的推广应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 cigs 太阳电池 吸收 制备 方法 | ||
【主权项】:
本发明涉及一种薄膜太阳电池吸收层的制备方法,在柔性衬底上依次制备钼背接触层、铜铟镓硒吸收层、硫化镉缓冲层、透明窗口层高阻本征氧化锌薄膜、透明窗口层低阻氧化锌铝薄膜和银上电极,其制备方法是:采用吸收层制备工艺完成后再通过蒸发NaF进行后掺Na,然后依次在其表面依次制备各层薄膜。本发明的优点是:不仅吸收层晶体质量不受影响,吸收层薄膜晶粒尺寸不变,改善了吸收层的电学性能,能够有效提高薄膜太阳电池的电学性能,与目前同类电池比,采用该吸收层制备电池的光电转换效率可提高20%~30%。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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