[发明专利]导热率探测器在审
| 申请号： | 201610329783.7 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106168596A | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 乌多·格勒特 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01N27/18 | 分类号： | G01N27/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李慧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有梁(6)的导热率探测器，该梁在中央并且在通道(5)的纵向方向上能由流体环流地布置，并且在一侧支承在横穿通道(5)的支架(7)处，该支架在与梁(6)的连接的两侧分别具有支承臂(8，9)，其中，梁(6)和支架(7)由掺杂的硅(11)构成并且在绝缘层(12)的中间层下方的一侧上承接金属层(13)，该金属层在支承臂(8，9)之一的区域(14)中中断，并且在那里在靠近支承臂(8)的侧面处以及在梁(6)的自由端部处分别穿过绝缘层(12)与掺杂的硅(11)接触。 | ||
| 搜索关键词： | 导热 探测器 | ||
【主权项】：
一种具有梁的导热率探测器，所述梁在中央并且在通道(5)的纵向方向上能由流体环流地布置，并且在一侧支承在横穿所述通道(5)的支架(7)处，所述支架在与所述梁的连接的两侧分别具有支承臂，其中，所述梁和所述支架(7)由掺杂的硅(11)构成并且在绝缘层(12)的中间层下方的一侧上承接金属层(13)，所述金属层在所述支承臂之一的区域(14)中中断，并且在靠近所述支承臂的侧面处以及在所述梁的自由端部处分别穿过所述绝缘层(12)与所述掺杂的硅(11)接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西门子公司，未经西门子公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610329783.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
