[发明专利]一种激光器与平面光波导混合集成结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种激光器与平面光波导混合集成结构及其制造方法，该结构包含一热沉(1)、至少一路分立激光器芯片(2)，一平面光波导芯片(3)。所述热沉(1)上制作有支撑凸台(11)，所述热沉(1)上还制作有电极(15)和对准标记(14)，所述电极(15)上还有焊料凸点(13)。所述激光器芯片(2)倒扣在所述热沉的支撑凸台(11)上，形成多路激光器阵列。所述多路激光器阵列与所述平面光波导芯片(3)耦合对准并固定。本发明降低了多路激光器与平面光波导芯片封装难度，提高封装效率。

主权项

1.一种激光器与平面光波导混合集成的激光器组件，其特征在于：包括热沉(1)、多路分立激光器芯片(2)和平面光波导芯片(3)，所述多路分立的激光器芯片(2)倒扣贴装在热沉(1)上形成多路激光器阵列，所述多路激光器阵列与所述平面光波导芯片(3)的输入波导(31)耦合对准并固定；所述热沉(1)上具有高度相同的多个支撑凸台(11)，每个激光器芯片(2)被所述热沉(1)上的支撑凸台(11)支撑，每个激光器芯片(2)的波导在支撑凸台(11)之间悬空；所述输入波导(31)前端或者激光器芯片(2)前端集成有模场转换结构(21)，所述模场转换结构(21)将所述激光器芯片(2)的输出光整形为与平面光波导芯片(3)的输入波导(31)模场相匹配，使得在直接耦合条件下，所述激光器芯片(2)与所述平面光波导芯片(3)的最佳耦合效率大于25％，所述激光器芯片(2)与所述平面光波导芯片(3)在X方向上的1dB容差≥2um，在Y方向上的1dB容差≥1um，在Z方向上的1dB容差≥10um。