[发明专利]一种隧道掘进机刀具刀圈的多层薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610317008.X | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105971617B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 郭岩;李太江;李巍;吕品正 | 申请（专利权）人： | 西安热工研究院有限公司 |
| 主分类号： | E21D9/10 | 分类号： | E21D9/10;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种隧道掘进机刀具刀圈的多层薄膜及其制备方法，包括依次沉积于隧道掘进机刀具刀圈表面的金属Cr底层、耐氧化薄膜层及耐磨减摩层。本发明能够用于隧道掘进机刀具刀圈，并且制备方法较为简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 掘进机 刀具 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于隧道掘进机刀具刀圈的多层薄膜的制备方法，其特征在于，所述用于隧道掘进机刀具刀圈的多层薄膜包括依次沉积于隧道掘进机刀具刀圈表面的金属Cr底层、耐氧化薄膜层及耐磨减摩层；所述耐氧化薄膜层由Cr元素、Al元素及N元素构成；耐磨减摩层由Cr元素、Ti元素、Al元素、Si元素、C元素及N元素构成；包括以下步骤：清洗隧道掘进机刀具刀圈的表面，再将隧道掘进机刀具刀圈放置到真空腔室内的旋转装置上进行旋转，并进行等离子体清洗，然后再在隧道掘进机刀具刀圈的表面采用多弧离子镀物理气相沉积法依次沉积Cr金属底层、耐氧化薄膜层及耐磨减摩层，完成隧道掘进机刀具刀圈的多层薄膜制备；采用多弧离子镀物理气相沉积方法沉积Cr金属底层的过程中，向真空腔室内通入流量为40sccm、气压为1.5Pa的Ar气，沉积温度为450℃，沉积过程中以Cr金属作为沉积靶材，弧电流为80A，偏置电压为150V。
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