[发明专利]光学分光器及其制备方法、图像传感器以及图像成像系统在审
申请号: | 201610302450.5 | 申请日: | 2016-05-09 |
公开(公告)号: | CN106052865A | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 李丽;黄成军;崔虎山;刘舒扬 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 张瑾 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种光学分光器及其制备方法、图像传感器以及图像成像系统,所述光学分光器为在基底上由多个分光单元一维排列组成的阵列结构,所述分光单元包括上层反射层、下层反射层以及位于所述上层反射层与所述下层反射层之间的介质层,所述下层反射层为水平面结构,所述上层反射为斜面结构或曲面结构。本发明提供的光学分光器及其制备方法、图像传感器以及图像成像系统,集成度高、体积小,同时高光谱成像耗时短。 | ||
搜索关键词: | 光学 分光 及其 制备 方法 图像传感器 以及 图像 成像 系统 | ||
【主权项】:
一种光学分光器,其特征在于,所述光学分光器为在基底上由多个分光单元一维排列组成的阵列结构,所述分光单元包括上层反射层、下层反射层以及位于所述上层反射层与所述下层反射层之间的介质层,所述下层反射层为水平面结构,所述上层反射层为斜面结构或曲面结构。
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