[发明专利]一种类金属与金属复合空心腔阵列结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201610297310.3 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN105973867B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李静;班榕柽;尹君;张志刚;吴敏 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;游学明 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型类金属材料与金属复合空心腔阵列结构及其制备方法，该结构包括金属球形空壳和类金属覆盖层，超薄的类金属覆盖在金属球形空壳上，构成类金属‑金属复合空心腔结构。该衬底的制备方法为，首先制备阵列模板，然后利用磁控溅射技术在阵列模板上沉积金属薄膜，之后用四氢呋喃溶液处理浸泡去除模板，最后利用磁控溅射技术沉积一定厚度的类金属材料。本发明提供了新型类金属材料与贵金属复合的空心腔阵列结构的制备工艺，并结合其多极模式等离激元共振和电荷转移机制，实现操作简单、迅速、稳定的检测功能，在材料研究、兴奋剂检测等领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金属 复合 空心 阵列 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种类金属与金属复合空心腔阵列结构，其特征在于：包括金属球形空壳和类金属覆盖层，超薄的类金属层覆盖在金属球形空壳外表面，构成复合空心腔结构；其中，金属球壳的直径范围为100‑1000nm，金属腔壁厚度范围为5‑60nm；类金属层的厚度为1‑20nm；其中，所述的金属为银和金中的一种；所述的类金属为氮化钛、氮化锆、氮化钽和氮化铪中的一种。
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