[发明专利]一种表面测量方法、装置以及系统

摘要

本发明公开了一种表面测量方法、装置及系统，该方法包括：将刀具移动到待测量部件的待检测表面的基准点的位置，根据基准点建立三维坐标系得到基准点的坐标；确定待检测表面上的多个待检测位置，将刀具分别移动到待检测位置的正上方；移动探针以使针尖接触到待检测表面，移动刀具以使刀尖接触到待检测位置，在针尖和刀尖均接触到待检测表面时形成闭合回路，产生触发信号；分别获取触发信号产生时待检测位置相对于基准点在z轴上的高度，结合基准点的z轴坐标得到待检测位置在z轴上的坐标；利用各待检测位置在x、y以及z轴上的坐标值得到待检测表面的函数；利用函数得到待检测表面各点的位置坐标，实现对待检测表面的测量。

主权项

1.一种表面测量方法，其特征在于，所述方法包括：将刀具移动到待测量部件的待检测表面的基准点的位置，并根据所述基准点建立三维坐标系，得到所述基准点的坐标，所述待测量部件的待检测表面具有金属层，所述三维坐标系的z轴与所述刀具平行，且所述z轴和所述刀具垂直于同一平面；确定所述待检测表面上的多个待检测位置，将所述刀具分别移动到所述待检测表面上待检测位置的正上方；移动探针以使所述探针的针尖接触到所述待检测表面，移动所述刀具以使所述刀具的刀尖接触到所述待检测位置，所述探针的针尖由导电材料制成，在所述探针的针尖和所述刀具的刀尖均接触到所述待检测表面时形成闭合回路，产生触发信号；分别获取触发信号产生时所述待检测位置相对于所述基准点位置在z轴上的高度，结合所述基准点的z轴坐标得到所述待检测位置在z轴上的坐标；利用各个待检测位置在x轴、y轴以及z轴上的坐标值得到关于所述待检测表面的函数；利用所述函数得到所述待检测表面各个点的位置坐标，实现对所述待检测表面的测量。