[发明专利]一种金属微结构电场传感器在审
| 申请号： | 201610273929.0 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN105911370A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 郑凤杰;夏善红;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种金属微结构电场传感器，包括：屏蔽电极、衬底以及位于衬底上的第一驱动结构、第二驱动结构和感应电极；第一驱动结构和第二驱动结构对称设置于感应电极的两侧，其将屏蔽电极夹持于二者之间，并驱动屏蔽电极相对于感应电极作周期性运动，屏蔽电极、第一驱动结构、第二驱动结构和感应电极采用金属材料。本发明采用金属材料制备，电极弹性大，提高了电场测量的分辨力和灵敏度，增大了有效电荷感应面积；电极传感器采用垂直振动方式，提高了电场测量的分辨力和灵敏度；通过在动电极表面开设阻尼孔，降低驱动电压，减小驱动电压引起的噪声，提高信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 微结构 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种金属微结构电场传感器，其特征在于，包括：屏蔽电极(21)、衬底(11)以及位于衬底上的第一驱动结构、第二驱动结构和感应电极(20)；其中，所述第一驱动结构和第二驱动结构对称设置于感应电极的两侧，其将所述屏蔽电极(21)夹持于二者之间，并驱动所述屏蔽电极(21)相对于感应电极(20)作周期性运动，所述屏蔽电极(21)、第一驱动结构、第二驱动结构和感应电极(20)采用金属材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院电子学研究所，未经中国科学院电子学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610273929.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
