[发明专利]一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台及其标定方法有效
| 申请号： | 201610261465.1 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107305119B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 王青;齐思璐;周泉仙;孟令强;石慧;王晓烨 | 申请（专利权）人： | 南京英特飞光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210014 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台，从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度，使测量布置方式最优；再根据测试长平晶位置确定反射镜位置，利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置；使用干涉仪测量时根据不同型号的长平晶对照标定图像，从而确定该长平晶的面型信息。本发明在标定时无需测量全部面型参数，增加了简易性，且在测量时节省空间，有统一的标准，精度高，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 标准 长平晶 倾斜 测试 标定 方法 平台 | ||
【主权项】：
1.一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台，其特征在于：包括自准直激光器（2）、平面反射镜（3）、圆形底座（4）、转盘（6）、0刻线（7）、待测件卡座（13）和视场光阑（14），转盘（6）设置在圆形底座（4）上，与其转动连接，转盘（6）直径小于圆形底座（4）直径，两者之间形成环形凹槽（5），视场光阑（14）固定在转盘（6）的中心，待测长平晶（1）通过待测件卡座（13）固定在转盘（6）上，待测长平晶（1）与视场光阑（14）平行；平面反射镜（3）设置在所述凹槽（5）中；自准直激光器（2）固定在平面反射镜（3）的顶部，0刻线（7）设置在转盘（6）上，且与视场光阑（14）和待测长平晶（1）垂直。
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