[发明专利]离子光学装置有效
申请号: | 201610260015.0 | 申请日: | 2016-04-25 |
公开(公告)号: | CN107305833B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 蒋公羽;孙文剑;程玉鹏;张小强 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 高彦 |
地址: | 日本国京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的离子光学装置,包括:一或多对约束电极单元,在一空间内的第一方向的两侧相对设置且随第一方向延伸;电源装置,用于在成对的约束电极单元分别施加相反的射频电压且在约束电极单元上形成按基本正交于第一方向的一个第二方向分布的多个直流电位,以在第一方向的至少一部分长度上形成在第二方向上的势垒;至少一个第一区域及第二区域,位于空间中且在第二方向上分别位于势垒两侧;控制装置,连接电源装置,用于控制电源装置的输出以变化势垒,以操纵在第一区域中传输或储存的离子按其质荷比或迁移率的不同而以不同方式通过势垒转移到第二区域并沿第一方向继续传输,提升位于其下游的其他同步工作装置的离子利用效能。 | ||
搜索关键词: | 离子 光学 装置 | ||
【主权项】:
1.一种离子光学装置,其特征在于,包括:一或多对约束电极单元,在一空间内的第一方向的两侧相对设置且随所述第一方向延伸;成对的约束电极单元之间具有一个大于0度且小于50度的张角,用以在所述第一方向引入直流渗入场并向所述第一方向下游压缩并传输离子;离子引入口,位于所述第一方向上游,用以沿所述第一方向引入离子;电源装置,用于在成对的约束电极单元分别施加相反的射频电压且在约束电极单元上形成按基本正交于所述第一方向的一个第二方向分布的多个直流电位,以在所述第一方向的至少一部分长度上形成在所述第二方向上的势垒;至少一个第一区域及第二区域,位于所述空间中且在第二方向上分别位于所述势垒两侧;控制装置,连接所述电源装置,用于控制所述电源装置的输出以变化所述势垒,以操纵在所述第一区域中传输或储存的离子按其质荷比或迁移率的不同而以不同方式通过所述势垒转移到所述第二区域并沿第一方向继续传输。
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