[发明专利]一种三轴声表面波加速度传感器在审
| 申请号： | 201610258658.1 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105954541A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王文;黄杨青;刘鑫璐;薛蓄峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三轴声表面波加速度传感器，包括：第一单轴加速度传感器(1)、第二单轴加速度传感器(2)、第三单轴加速度传感器(3)、参考传感器(4)和传感器管座(5)；其中，第一单轴加速度传感器(1)放置于传感器管座(5)上，悬臂梁与传感器管座(5)平面平行；第二单轴加速度传感器(2)与第三单轴加速度传感器(3)放置于传感器管座(5)上，其悬臂梁与传感器管座(5)平面垂直；第二单轴加速度传感器(2)的悬臂梁与第三单轴加速度传感器(3)的悬臂梁相互垂直；参考传感器(4)放置于传感器管座(5)上。本发明具有高灵敏度、制作成本低、抗振动能力好、使用寿命长、环境适应能力强以及良好的稳定性和可靠性等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三轴声 表面波 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种三轴声表面波加速度传感器，其特征在于，包括：第一单轴加速度传感器(1)、第二单轴加速度传感器(2)、第三单轴加速度传感器(3)、参考传感器(4)和传感器管座(5)；其中，所述第一单轴加速度传感器(1)放置于传感器管座(5)上，其悬臂梁与传感器管座(5)平面平行；所述第二单轴加速度传感器(2)与第三单轴加速度传感器(3)放置于传感器管座(5)上，其悬臂梁与传感器管座(5)平面垂直；所述第二单轴加速度传感器(2)的悬臂梁与第三单轴加速度传感器(3)的悬臂梁相互垂直；所述参考传感器(4)放置于传感器管座(5)上。
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