[发明专利]紫外光敏传感器、其制备方法、紫外光敏器件及紫外光检测方法有效

专利信息
申请号: 201610249800.6 申请日: 2016-04-21
公开(公告)号: CN107305913B 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 刘同军;赵豪;程驰;赵颖 申请(专利权)人: 纳智源科技(唐山)有限责任公司
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 代理人: 刘云贵
地址: 063000 河北省唐山市*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 一种紫外光敏传感器的制备方法,包括:制作电极,制备氧化锌悬浮液,制作氧化锌感光薄膜,热处理与封装。由该方法制备的紫外光敏传感器,包括:氧化锌感光薄膜,用于探测紫外光;第一电极和第二电极,二者互不接触,位于氧化锌感光薄膜同一侧,是电信号输出端。一种紫外光敏器件,包括光敏元件模块和信号采集模块。一种紫外光检测方法,包括:在待测光照射下,光敏元件模块的光敏电阻产生阻值变化而输出电信号;信号采集模块采集和处理与光敏电阻串联的分压电阻输出的分压,根据相邻固定时间段内的分压差值,确定是否刷新显示。
搜索关键词: 紫外 光敏 传感器 制备 方法 器件 紫外光 检测
【主权项】:
1.一种紫外光敏传感器的制备方法,其特征在于,包括:(1)制作电极:在ITO导电玻璃表面制作第一电极和第二电极,第一电极和第二电极互不接触;(2)制备氧化锌悬浮液:将粘结剂加入到有机溶剂中充分溶解得到粘结剂溶液,然后向其中加入氧化锌纳米粉体,混合均匀得到氧化锌悬浮液;其中,所述氧化锌纳米粉体与所述粘结剂溶液的比例是0.1‑2.0克氧化锌:1‑50毫升粘结剂溶液;所述粘结剂与所述有机溶剂的比例是0.001‑1克粘结剂:1‑50毫升有机溶剂;(3)制作氧化锌感光薄膜:将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的第一电极和第二电极表面以形成氧化锌感光薄膜;(4)热处理与封装;其中,所述热处理的温度是50℃‑100℃。
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