[发明专利]紫外光敏传感器、其制备方法、紫外光敏器件及紫外光检测方法有效
申请号: | 201610249800.6 | 申请日: | 2016-04-21 |
公开(公告)号: | CN107305913B | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 刘同军;赵豪;程驰;赵颖 | 申请(专利权)人: | 纳智源科技(唐山)有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/101 | 分类号: | H01L31/101;H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 刘云贵 |
地址: | 063000 河北省唐山市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种紫外光敏传感器的制备方法,包括:制作电极,制备氧化锌悬浮液,制作氧化锌感光薄膜,热处理与封装。由该方法制备的紫外光敏传感器,包括:氧化锌感光薄膜,用于探测紫外光;第一电极和第二电极,二者互不接触,位于氧化锌感光薄膜同一侧,是电信号输出端。一种紫外光敏器件,包括光敏元件模块和信号采集模块。一种紫外光检测方法,包括:在待测光照射下,光敏元件模块的光敏电阻产生阻值变化而输出电信号;信号采集模块采集和处理与光敏电阻串联的分压电阻输出的分压,根据相邻固定时间段内的分压差值,确定是否刷新显示。 | ||
搜索关键词: | 紫外 光敏 传感器 制备 方法 器件 紫外光 检测 | ||
【主权项】:
1.一种紫外光敏传感器的制备方法,其特征在于,包括:(1)制作电极:在ITO导电玻璃表面制作第一电极和第二电极,第一电极和第二电极互不接触;(2)制备氧化锌悬浮液:将粘结剂加入到有机溶剂中充分溶解得到粘结剂溶液,然后向其中加入氧化锌纳米粉体,混合均匀得到氧化锌悬浮液;其中,所述氧化锌纳米粉体与所述粘结剂溶液的比例是0.1‑2.0克氧化锌:1‑50毫升粘结剂溶液;所述粘结剂与所述有机溶剂的比例是0.001‑1克粘结剂:1‑50毫升有机溶剂;(3)制作氧化锌感光薄膜:将步骤(2)制备的氧化锌悬浮液喷涂至步骤(1)制作的第一电极和第二电极表面以形成氧化锌感光薄膜;(4)热处理与封装;其中,所述热处理的温度是50℃‑100℃。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的