[发明专利]一种用于电子背散射衍射仪的样品台

摘要

本发明实施例公开了一种用于电子背散射衍射仪的样品台，涉及岩石样品分析测试领域，能够在保证实验的安全性的同时满足样品尺寸大、导电性差的样本进行有标样的测试需求。本发明包括：样品台的固定面与底座呈70°夹角，固定面上开有凹槽，凹槽用于安装并固定薄片样品，凹槽与薄片样品的尺寸吻合；凹槽的深度与薄片样品的厚度一致，当薄片样品安装在凹槽中时，薄片样品的待测表面与固定面的表面处于同一平面。固定面上开有用于安装单晶硅标样的标样凹槽，标样凹槽的深度与单晶硅标样的厚度一致，当单晶硅标样安装在标样凹槽中时，单晶硅标样的待测表面与固定面的表面处于同一平面。本发明适用于尺寸大、导电性差的样本的有标样测试。

主权项

1.一种用于电子背散射衍射仪的样品台，其特征在于，包括：所述样品台的固定面与底座呈70°夹角，所述固定面上开有凹槽，所述凹槽用于安装并固定薄片样品，所述凹槽与所述薄片样品的尺寸吻合；所述凹槽的深度与所述薄片样品的厚度一致，当所述薄片样品安装在所述凹槽中时，所述薄片样品的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面；所述固定面上开有用于安装单晶硅标样的标样凹槽，所述标样凹槽的深度与所述单晶硅标样的厚度一致，当所述单晶硅标样安装在所述标样凹槽中时，所述单晶硅标样的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面；所述样品台的中部，开有一立方体孔洞，所述立方体孔洞用于安装块状样品；所述立方体孔洞的内表面填充固体导电胶，当所述块状样品接触所述固体导电胶并安装在所述立方体孔洞中时，所述块状样品的待测表面与所述单晶硅标样的表面处于同一平面；其中，标样凹槽接近凹槽的边缘，使得单晶硅标样与薄片样品处于在同一平面，以便于在实验过程中样品能够在同一个工作距离下通过单晶硅标样进行校准。