[发明专利]具有膜片的压力感测集成电路器件在审
| 申请号： | 201610218782.5 | 申请日： | 2016-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN107290096A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 小M·L·钦;A·M·黛斯卡尔汀;A·M·阿拉亚塔 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01L17/00 | 分类号： | G01L17/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有膜片的压力感测集成电路器件。一种集成电路(IC)器件包括压力传感器管芯、覆盖着至少管芯的压力感测区的柔性凝胶，以及覆盖着凝胶的柔性膜片。集成电路器件具有用于限定膜片上方的腔体的密封剂和盖子。盖子具有可使器件外部的最近的环境气压能够通过柔性膜片和柔性凝胶由压力感测区感测到的孔口。膜片保护凝胶材料以免受周围材料的潜在破坏。膜片可以是管子的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 膜片 压力 集成电路 器件 | ||
【主权项】：
一种压力感测集成电路(IC)器件，包括：压力感测管芯；至少覆盖所述压力感测管芯的压力感测区的柔性凝胶；以及覆盖所述柔性凝胶的柔性膜片，其中所述柔性膜片和所述柔性凝胶使压力传感器能够感测所述集成电路器件外部的环境压力。
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