[发明专利]一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器在审
| 申请号： | 201610207534.0 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN105772380A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王波;彭宽;肖嘉莹;朱自强 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B06B3/04;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 410082 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器，所述PVDF超声换能器电极的制作方法，包括：获取电极的图案；将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上，所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极，且其上表面涂有感光材料；对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理，得到带有所需电极图案的PVDF压电薄膜。相对于现有的复杂电极PVDF超声换能器制作方法，基于上述方法制作的PVDF超声换能器有更高的灵敏度，且有工艺简单、价格低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvdf 超声 换能器 电极 制作方法 | ||
【主权项】：
一种PVDF超声换能器电极的制作方法，其特征在于，包括：获取超声换能器电极的图案；将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上，所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极，且其上表面涂有感光材料；对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理，得到超声换能器电极。
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