[发明专利]一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器在审
| 申请号： | 201610207534.0 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN105772380A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王波;彭宽;肖嘉莹;朱自强 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B06B3/04;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 410082 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pvdf 超声 换能器 电极 制作方法 | ||
1.一种PVDF超声换能器电极的制作方法，其特征在于，包括：
获取超声换能器电极的图案；
将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上，所述PVDF导电薄膜的上 下表面的电极为铝电极，且其上表面涂有感光材料；
对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处 理，得到超声换能器电极。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述图案覆盖在 PVDF导电薄膜上，具体包括：
在掩膜板上制作所述超声换能器电极的图案，将带有所述图案的 所述掩膜板覆盖在所述PVDF导电薄膜上；或
将所述超声换能器电极的图案通过光学方法成像在所述PVDF导 电薄膜上。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在掩膜板上制 作所述超声换能器电极的图案，具体为：
在菲林片上打印出所述超声换能器电极的图案。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述感光材料为感 光蓝油。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采用紫外灯对所述 覆盖了所述电极图案的PVDF导电薄膜进行曝光。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述覆盖了所述 电极图案的PVDF导电薄膜进行蚀刻处理时采用的溶液为(1±0.2)％ 的碳酸钠溶液；
对所述覆盖了所述电极图案的PVDF导电薄膜进行显影时采用的 溶液为氯化铁和盐酸的混合溶液。
7.一种PVDF超声换能器，其特征在于，包括：根据权利要求1-6 任一项所述的方法制作的超声换能器电极。
8.根据权利要求7所述的超声换能器，其特征在于，所述超声换 能器电极的形状为环形阵列。
9.根据权利要求7所述的超声换能器，其特征在于，所述超声换 能器电极的导线采用导电银胶连接。
10.根据权利要求7所述的超声换能器，其特征在于，所述超声 换能器的背衬材料为非导电环氧树脂。
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