[发明专利]堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统

摘要

提供一种堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统，其能够推定隔膜的受压面上所堆积的堆积物的状态。根据未堆积有堆积物(PM)的初始状态的隔膜(32)发生共振的初始电源频率(rf1)和堆积有堆积物(PM)之后的隔膜(32)发生共振的电源频率(rf2)，能够推定堆积物(PM)的状态，因此即使在隔膜(32)上仅堆积有一点点堆积物(PM)的不产生零点漂移的阶段，也能够推定堆积物(PM)的状态。

主权项

1.一种堆积物状态推定装置，其是对堆积在压力传感器单元的隔膜上的堆积物的状态进行推定的堆积物状态推定装置，所述压力传感器单元包括：所述隔膜；与该隔膜相对地配置的传感器基座；形成在所述隔膜上的可动电极；形成在所述传感器基座上且与所述可动电极相对的固定电极；用于在所述可动电极与所述固定电极之间施加交流电源的电压的端子；以及将与通过所述可动电极和所述固定电极而形成的电容相对应的信号输出的输出电路，所述堆积物状态推定装置的特征在于，包括：电源频率变更部，其对施加于所述端子上的所述交流电源的电源频率进行变更；检测部，其在变更了施加于所述端子的所述交流电源的电源频率时，对所述隔膜发生共振的所述电源频率进行检测；初始状态存储部，其对在所述隔膜上未堆积有所述堆积物的初始状态下所述隔膜发生共振的初始电源频率进行存储；以及推定部，其根据由所述检测部检测出的所述电源频率和存储于所述初始状态存储部的所述初始电源频率，来推定堆积在所述隔膜上的所述堆积物的堆积程度。