[发明专利]碰撞反应池在审
| 申请号： | 201610161039.0 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN107221489A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 凌星;张小华;杜永光;洪俊龙 | 申请（专利权）人： | 北京普析通用仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J49/42 | 分类号： | H01J49/42;H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司11438 | 代理人： | 阚梓瑄,乔彬 |
| 地址： | 101200*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种碰撞反应池，包括腔体以及离子漏斗；腔体具有第一端和第二端，第一端和第二端上分别开设有离子入口和离子出口，腔体上开设有气体入口，以向腔体内充入反应性气体；离子漏斗设于腔体内部，包括间隔平行设置的多片透镜，每片透镜上均开设有一开孔，多个开孔、离子入口和离子出口共线，以供离子通过，每片透镜的开孔的孔径，小于等于靠近离子入口一侧的相邻透镜的开孔的孔径；其中，每片透镜均施加有直流电压，每片透镜上施加的直流电压，小于靠近离子入口一侧的相邻透镜上施加的直流电压。本发明兼具较佳的质量区分效果与较强的离子传输效率。同时，通过多片透镜的设置，进一步使碰撞反应池具备对离子聚焦的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 碰撞 反应 | ||
【主权项】：
一种碰撞反应池，其特征在于，包括：腔体，具有第一端和第二端，所述第一端和第二端上分别开设有离子入口和离子出口，所述腔体上开设有气体入口，以向所述腔体内充入反应性气体；以及离子漏斗，设于所述腔体内部，包括间隔平行设置的多片透镜(1)，每片所述透镜(1)上均开设有一开孔(2)，多个所述开孔(2)、离子入口和离子出口共线，以供离子通过，每片所述透镜(1)的开孔(2)的孔径，小于等于靠近所述离子入口一侧的相邻透镜(1)的开孔(2)的孔径；其中，每片所述透镜(1)均施加有直流电压，每片所述透镜(1)上施加的直流电压，小于靠近所述离子入口一侧的相邻透镜(1)上施加的直流电压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京普析通用仪器有限责任公司，未经北京普析通用仪器有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610161039.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于传输质子转移反应离子源中离子的传输装置
- 下一篇：基板清洗装置
