[发明专利]离子布植机

摘要

本发明是有关于离子布植机。所述离子布植机整合了用来夹持工作件的夹盘以及用来监控离子束的监控器。因此，可以在布植模式与监控模式之间来回切换，并且在不同模式间切换所需使用的装置及/或操作可以被简化。详细来说，夹盘与监控装置可以分别放在本体的不同表面，使得通过本体沿着与离子束的路径相交的一轴来旋转，夹盘跟监控器可以分别面向离子束。因此，可以确切地同步地监控在夹盘夹持工作件的位置(也是工作件被离子束布植的同一位置)的离子束的一个或多个特征植。监控器的细节不在此限制，任何可以被配置来测量离子束特征的既有及/或开发中的装置都可用来监控。本发明可改善数据采集的效率、准确度以及可靠度，并且减少颗粒污染的可能来源。

主权项

1.一种离子布植机，其特征在于包含：离子束组件被配置来提供离子束；及基座组件，包含有：本体；夹盘，放置于该本体的第一表面，其中该夹盘被配置来夹持欲被该离子束布植的工作件；及监控器，放置于该本体的第二表面，其中该监控器被配置来监控该离子束；其中该第一表面不同于该第二表面；其中该本体能够沿着与离子束的离子束路径相交的旋转轴旋转；其中该监控器的表面区域大于该本体的第二表面的区域，使得当该监控器直接面对该离子束时，该夹盘与被该夹盘夹持的该工作件皆不会被离子束所布植；其中该监控器包含多弦线离子束角度侦测器，其包含多个彼此分离的导电体，设于垂直离子束路径的平面上，用以量测离子束的发散性。