[发明专利]一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法及系统

摘要

本发明公开了一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法及系统。本发明通过获取蚀刻体系当前已蚀刻的产品数量，根据产品数量和已建立的表征蚀刻酸液中不同酸的浓度随蚀刻产品数量的变化关系的酸浓度变化模型，确定蚀刻体系当前蚀刻酸液中不同酸的浓度值。通过上述方式，本发明能够准确、快速确定蚀刻体系中不同酸的浓度值。

主权项

1.一种蚀刻过程中酸浓度的监控方法，其特征在于，所述方法包括：获取蚀刻体系当前已蚀刻的产品数量；根据所述产品数量和已建立的对应所述蚀刻体系的酸浓度变化模型，确定所述蚀刻体系当前蚀刻酸液中不同酸的浓度值，所述酸浓度变化模型用于表征蚀刻酸液中不同酸的浓度随蚀刻产品数量的变化关系；所述获取蚀刻体系当前已蚀刻的产品数量之前，还包括：分别获取所述蚀刻体系在蚀刻不同产品数量后，蚀刻酸液中的不同酸的实际浓度值；根据获取的产品数量以及对应的蚀刻所述产品数量后蚀刻酸液中的不同酸的实际浓度值，以所述产品数量为自变量，所述不同酸的实际浓度值为函数，建立所述酸浓度变化模型；所述方法还包括：基于确定的所述蚀刻体系当前蚀刻酸液中不同酸的浓度值，对所述蚀刻体系所消耗的酸液进行补充以满足蚀刻需求；所述蚀刻酸液中不同酸分别为硝酸、磷酸和冰醋酸；所述蚀刻体系为铝蚀刻液，其中，初始酸含量为所述硝酸1.8％～2.0％、所述磷酸70～72％、所述冰醋酸9.5％～10.5％。