[发明专利]一种射频原子力显微镜扫描探针及其制备方法

摘要

本发明公开了一种射频原子力显微镜扫描探针及其制备方法。制备的主要步骤：第一，在衬底为高阻的绝缘层上硅材料上，通过光刻和刻蚀技术，获得射频传输线的台面隔离；第二，通过光刻、电子束蒸发及快速退火技术，形成欧姆接触；第三，通过光刻及电子束蒸发技术，获得射频传输线；最后，通过光刻和刻蚀技术，形成探针整体，包括探针躯干、探针悬臂梁梁和探针针尖。利用所得的探针对样品进行形貌扫描时，由于射频电路对电抗(容抗和感抗)极其敏感，样品表面形貌的变化将引起容抗的变化，导致射频谐振信号发生偏移。利用射频电路的高速特性，通过该射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。

主权项

一种射频原子力显微镜扫描探针，包括探针躯干、探针悬臂梁、探针针尖和射频传输线；其特征在于：所述探针针尖位于所述探针悬臂梁的一端；所述射频传输线位于所述探针躯干的表面，并沿着探针悬臂梁延伸至探针针尖，提供相应的接地、射频信号的输入和输出；利用射频电路的高速特性及其对电抗的敏感特性，采用射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。