[发明专利]用于生产硅锭的设备和方法在审
申请号: | 201610082305.0 | 申请日: | 2016-02-05 |
公开(公告)号: | CN105862124A | 公开(公告)日: | 2016-08-17 |
发明(设计)人: | 内森·斯托达德;卡罗尔·墨菲;托马斯·库拉施;比约恩·塞佩尔 | 申请(专利权)人: | 太阳世界工业美国有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 樊英如;李献忠 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了用于生产硅锭的设备和方法,如硅锭的无坩埚生产的设备和方法,其中,具有籽晶层和液体层的支撑件在具有垂直梯度的温度场中逐渐下降,从而以受控的方式凝固液体层。 | ||
搜索关键词: | 用于 生产 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于生产锭的设备,其包括:室,其提供可控的气氛,其中所述室具有在纵向方向上彼此隔开的顶部和底部;可旋转支撑件,其用于支承籽晶层,其中所述可旋转支撑件相对于所述室在所述纵向方向上能移动,至少一个装置,其用于控制在所述室中的给定的生长体积(VGR)中的温度场,其中,所述温度场具有在所述纵向方向上的温度梯度,以及馈送装置,其用于将材料可控地馈送到所述籽晶层上。
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