[发明专利]压力传感装置及其制造方法

摘要

一种压力传感装置包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设，且第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。藉此，本发明可使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。同时，本发明亦揭露一种压力传感装置的制造方法。

主权项

一种压力传感装置，其特征在于，包括：一第一基板；一薄膜晶体管元件，形成于该第一基板的一第一表面；一第一传感元件，形成于该第一基板的一第二表面，且该第二表面与该第一表面为彼此相对的表面；一第二传感元件，与该第一传感元件相对而设，且该第二传感元件与该第一传感元件位于该第一基板的同一侧；以及一可压缩层，设置于该第一传感元件与该第二传感元件之间。