[发明专利]压力传感装置及其制造方法

说明书

一种压力传感装置包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设，且第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。藉此，本发明可使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。同时，本发明亦揭露一种压力传感装置的制造方法。

技术领域

本发明关于一种传感装置及其制造方法，特别关于一种压力传感装置及其制造方法。

背景技术

随着科技不断的进步，各种信息设备不断地推陈出新，例如手机、平板电脑、超轻薄笔记本电脑、及卫星导航等。除了一般以键盘或鼠标输入或操控之外，利用触控式技术来操控信息设备是一种相当直观且受欢迎的操控方式。其中，触控装置具有人性化及直觉化的输入操作介面，使得任何年龄层的使用者都可直接以手指或触控笔选取或操控信息设备。

现今触控技术多为二维(2D)平面的多点触控(Multi-Touch)，其是利用例如手指碰触显示面而改变例如电容值来精确判断手指的触碰位置，进而产生对应的控制功能。另外，除了二维平面的触控技术中，为了感测垂直于显示面(Z轴)方向的按压力道，已知技术一般是利用于显示面上外贴一压力传感结构来感测Z轴方向的碰触力道，从而实现3D触控的目的。

发明内容

本发明提供一种压力传感装置，包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。

本发明提供一种压力传感装置的制造方法，包括以下步骤：提供一第一基板；形成一薄膜晶体管元件于第一基板的一第一表面；提供一第二基板，并与第一基板相对而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板与第二基板之间；形成一第一传感元件于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面；提供一第二传感元件，并使第一传感元件与第二传感元件位于第一基板的同一侧；以及提供一可压缩层，并使可压缩层夹置于第一传感元件与第二传感元件之间。

在一实施例中，第一传感元件与第二传感元件的其中之一为图案化导电层。

在一实施例中，第一传感元件与第二传感元件分别为图案化导电层。

在一实施例中，可压缩层的材料包含光学胶、光学透明树脂、光学弹性树脂、硅胶，或包含一密封元件及一气体层，且气体层位于密封元件所围设的空间内。

在一实施例中，压力传感装置更包括一第二基板，其与第一基板相对而设，且薄膜晶体管元件位于第一基板与第二基板之间。

在一实施例中，压力传感装置更包括一第一偏光板与一第二偏光板，第一传感元件设置于第一偏光板与第一基板之间，第二偏光板设置于第二基板远离第一基板的一侧。

在一实施例中，压力传感装置更包括一触控电极层，其设置于第二基板与第二偏光板之间。

在一实施例中，压力传感装置更包括一触控电极层，其设置于第一基板与第二基板之间，且触控电极层位于薄膜晶体管元件上。

在一实施例中，压力传感装置更包括一保护基板及一触控电极层。保护基板与第二基板相对而设。触控电极层设置于保护基板面向第二基板的表面。

在一实施例中，压力传感装置更包括一背光模块，其与第一基板相对而设，且可压缩层设置于第一传感元件与背光模块之间，背光模块包含一导光板、一反射板、至少一光学膜片及一背板，光学膜片与反射板分别设置于导光板的两侧，背板承载反射板、导光板及光学膜片。