[发明专利]一种卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备在审
| 申请号： | 201610076741.7 | 申请日： | 2016-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN105752968A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 孔令杰;吴克松;王钊 | 申请（专利权）人： | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备，它包括有机体，工作台两端分别设有真空腔，真空腔室上连接有真空管，真空腔室一侧依次设有射频等离子发生器、加热炉、液氮冷阱；通过在真空腔室内设有卷状铜箔对石墨烯进行卷对卷连续制备大面积、高质量石墨烯的设备。采用该设备制备石墨烯，相对于现有方法具有快速、连续的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 石墨 薄膜 生长 设备 | ||
【主权项】：
一种卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备，它包括有机体，其特征在于：所述的机体上设有工作台，工作台两端分别设有真空腔室a与真空腔室b，所述的真空腔室a与真空腔室b上连通有真空机组，所述的真空腔室a设有进气口，且另一端的真空腔室b设有出气口，所述的真空腔室a与真空腔室b内均设有放卷滚筒，同时放卷滚筒上设有旋转电机，所述的真空腔室a与真空腔室b之间连接有真空管，所述的真空腔室a一侧依次设有射频等离子发生器、加热炉、液氮冷阱。
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