[发明专利]硅锭开方设备及硅锭开方方法

摘要

本发明提供一种硅锭开方设备及硅锭开方方法，该硅锭开方方法包括：将待切割硅锭置放于硅锭承载台；驱动线切割单元朝向硅锭承载台移动且驱动切割线走动，由切割线从待切割硅锭的第一待切割面进入并进行第一次切割；第一次切割完成后，将待切割硅锭待切割面由第一待切割面调整为第二待切割面，其中，第二待切割面和第一待切割面中对应于切割线的切割宽度小于等于待切割硅锭中其他面的至少二分之一的宽度；驱动线切割单元朝向硅锭承载台移动且驱动切割线走动，由切割线从待切割硅锭的第二待切割面进入并进行第二次切割，直至完全切割，完成待切割硅锭的开方作业。本发明在切割过程中，具有有效线段短、张拉波动幅度小、切割稳定度高及进度高等优点。

主权项

一种硅锭开方方法，应用于硅锭开方设备中，所述硅锭开方设备具有机座、硅锭承载台以及线切割单元，所述线切割单元中包括有形成切割线网的切割线；其特征在于，所述硅锭开方方法包括：将待切割硅锭置放于硅锭承载台上，使得所述待切割硅锭的第一待切割面对应于所述线切割单元的切割线；驱动所述线切割单元朝向所述硅锭承载台移动且驱动所述切割线走动，由所述切割线从所述待切割硅锭的第一待切割面进入并进行第一次切割；由所述切割线切割所述待切割硅锭直至所述切割线切割到与所述待切割硅锭中相对于所述第一待切割面的切割背面相距一安全距离时，控制所述线切割单元停止前进并背向所述硅锭承载台移动以退出；第一次切割完成之后，调整所述待切割硅锭的位置，使得所述待切割硅锭中对应于所述线切割单元的切割线的待切割面由原先的所述第一待切割面调整为第二待切割面；所述第二待切割面和所述第一待切割面中对应于所述切割线的切割宽度小于等于所述待切割硅锭中其他面的至少二分之一的宽度；以及驱动所述线切割单元朝向所述硅锭承载台移动且驱动所述切割线走动，由所述切割线从所述待切割硅锭的第二待切割面进入并进行第二次切割，直至完全切割，完成所述待切割硅锭的开方作业。