[发明专利]增大频域低相干光干涉测量范围的装置及其方法

摘要

一种增大频域低相干光干涉测量范围的装置由低相干光干涉和信号处理部分、参考臂和探测臂组成，低相干光干涉和信号处理部分的第1光纤准直器与参考臂光连接，低相干光干涉和信号处理部分的第2光纤准直器与探测臂光连接。采用上述装置进行增大频域低相干光干涉测量范围的方法步骤为：①用上述装置测量待测样品的探测面相对于等光程面的垂直距离d1绝对值；②在参考臂一侧加上透明片，用上述装置测量待测样品的探测面相对于等光程面的垂直距离d2绝对值，从而判断出待测样品的探测面位于等光程面的远端或近端。采用本方法能使频域低相干光干涉测量的检测范围扩大一倍。

主权项

1.一种增大频域低相干光干涉测量范围的装置，其特征在于：所述增大频域低相干光干涉测量范围的装置由低相干光干涉和信号处理部分（A）、参考臂（B）和探测臂（C）组成，低相干光干涉和信号处理部分（A）的第1光纤准直器（5）与参考臂（B）光连接，低相干光干涉和信号处理部分（A）的第2光纤准直器（11）与探测臂（C）光连接；所述参考臂（B）由第1透镜（8）、反射镜（9）和带电机（7）的转盘（6）组成，所述第1光纤准直器（5）依次与带电机（7）的转盘（6）、第1透镜（8）和反射镜（9）作光连接；所述探测臂（C）由第2透镜（12）、待测样品（13）组成，所述第2光纤准直器（11）依次与第2透镜（12）和待测样品（13）作光连接；所述带电机（7）的转盘（6）上对称于该转盘圆心O设有第1通孔（6‑1）和第2通孔（6‑2），并在其中任一个通孔处装有一片透明片，该透明片的两个表面相互接近平行。