[发明专利]放电电离电流检测器有效
| 申请号： | 201610049673.5 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN105651855B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 品田惠;堀池重吉;西本尚弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N27/70 | 分类号： | G01N27/70;G01N30/64;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种放电电离电流检测器。作为被覆用于引起低频阻挡放电的金属制的等离子体生成用电极(4、5、6)的表面的圆筒管(2)，使用OH含量为5ppm以下的低OH含量的石英玻璃。在低频阻挡放电中，明确了如下情况：电介质所包含的源自OH的H、O在较长的期间内放出到等离子体气体中，这是基线电流增加的主要原因，通过使用低OH含量的石英玻璃，能够大幅降低基线电流，由此还能够改善S/N、检测界限。 | ||
| 搜索关键词： | 放电 电离 电流 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种放电电离电流检测器，其特征在于，该放电电离电流检测器包括：放电用电极，以暴露在供等离子体气体流通的气体流路中的方式配设该放电用电极，其表面由电介质被覆；交流电压施加部件，其用于对上述放电用电极施加低频交流电压，以便在上述气体流路中发生电介质阻挡放电而从上述等离子体气体生成等离子体；和电流检测部件，其用于对由在上述气体流路中因上述等离子体的作用而被电离了的试样气体中的试样成分引起的离子电流进行检测，上述电介质使用蓝宝石。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610049673.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
