[发明专利]一种柔性探针在审
| 申请号： | 201610045067.6 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106996995A | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 杨霏;郑柳;王方方;李玲;夏经华;田亮;王嘉铭;桑玲;李嘉琳;钮应喜 | 申请（专利权）人： | 国网智能电网研究院;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102211 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种柔性探针，探针包括支撑臂、柔性接触探针及柔性连接点，柔性可固定连接或可拆卸，柔性接触探针为二维或三维结构；柔性接触探针为烟斗状或汤匙状且其空间体积为1μm3～0.1m3。本发明提供的探针带有可固定、可拆卸的柔性接触点，便于更换受损的探针；采用二维或三维结构的烟斗状或汤匙状结构，替换现有技术中的一维点接触结构的探针，能避免在芯片测试过程中损伤芯片表面金属层及损毁电器件；该探针与芯片电极接触面大，能在大电流器件测试过程中使电流分布更均匀，避免一维点状探针尖端带电打火烧毁器件，显著提高了电器件芯片级测试过程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 探针 | ||
【主权项】：
一种柔性探针，其特征在于，所述探针包括支撑臂、柔性接触探针及连接所述支撑臂与柔性接触探针的柔性连接点，所述柔性连接包括固定或可拆卸，所述柔性接触探针为二维或三维结构。
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