[发明专利]气体传感器

摘要

本发明提供一种能够以良好的精度得到被测定气体中水蒸气的浓度的气体传感器。主泵单元(21)对第一内部空间(20)的氧分压进行调整，使得第一内部空间(20)中被测定气体中的水蒸气全部分解，测定泵单元(50)对第二内部空间(40)的氧分压进行调整，以使得由水蒸气的分解而生成的氢被选择性地燃烧。测定用内侧电极(51)的金属成分包含金与金之外的贵金属的合金，测定用内侧电极(51)的表面的金属成分中金的存在比例为25at％以上，基于测定用内侧电极(51)与外侧电极(23)之间流动的电流的大小，来确定水蒸气的浓度。

主权项

1.一种气体传感器，其使用包含氧离子导电性的固体电解质的传感器元件构成、并基于所述固体电解质内流动的电流来确定被测定气体中的水蒸气成分的浓度，其特征在于，具备：/n第一扩散控制部，其与外部空间连通，对所述被测定气体赋予第一扩散阻力；/n第一内部空间，其与所述第一扩散控制部连通，在所述第一扩散阻力下，被测定气体从所述外部空间被导入该第一内部空间；/n第二扩散控制部，其与所述第一内部空间连通，对所述被测定气体赋予第二扩散阻力；/n第二内部空间，其与所述第二扩散控制部连通，在所述第二扩散阻力下，被测定气体从所述第一内部空间被导入该第二内部空间；/n主电化学泵单元，其由面向所述第一内部空间而形成的主内侧电极、在所述传感器元件的外表面形成的第一外侧电极、存在于所述主内侧电极与所述第一外侧电极之间的所述固体电解质构成；/n测定用电化学泵单元，其由面向所述第二内部空间而形成的测定用内侧电极、在所述传感器元件的外表面形成的第二外侧电极、存在于所述测定用内侧电极与所述第二外侧电极之间的所述固体电解质构成；/n基准气体空间，基准气体被导入至该基准气体空间；以及/n面向所述基准气体空间而形成的基准电极；/n所述测定用内侧电极的金属成分包含金与金之外的贵金属的合金，/n所述测定用内侧电极的表面的所述金属成分中金的存在比例为25at％以上，/n所述主电化学泵单元对所述第一内部空间的氧分压进行调整，以使得所述第一内部空间中所述水蒸气成分实质上被全部分解，/n所述测定用电化学泵单元对所述第二内部空间的氧分压进行调整，以使得由所述水蒸气成分的分解而生成的氢在所述第二内部空间内选择性地燃烧，/n基于通过所述测定用电化学泵单元将氧供给至所述第二内部空间时所述测定用内侧电极与所述第二外侧电极之间流动的电流的大小，确定存在于所述被测定气体中的所述水蒸气成分的浓度。/n