[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610020680.2 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN105648492A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 任平;邓惠勇;戴宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C25D5/10 | 分类号： | C25D5/10;C25D5/48 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，该方法包括四个步骤，依次是：准备Mo电极(1)、逐层电沉积(2)、氮气保护中加热石英瓶(3)、最后冷却至室温(4)。其中，加热石英瓶(3)的方法是：以15～20℃/分钟的速率升温，当温度升至550℃时，保温30分钟～2小时。本发明的石英瓶(3)是是锥形，底的直径为21mm，上口径为10～15mm，高度为15～20mm。本发明最大的优点是制备方法简单，容易操作，制备成本低，容易推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜锌锡硫 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：①将Mo电极打磨、抛光、丙酮、乙醇洗后吹干；②以Mo电极为工作电极、Pt电极为对电极、Hg2Cl2/Hg为参比电极，用电化学工作站分别沉积Cu、Sn、Zn层；③将沉积好的Mo、Cu、Sn及Zn膜放入特制的石英瓶中，瓶里放入硫粉，再将石英瓶放入通氮气的管式炉，以15～20℃/分钟的速率升温，当温度升至550℃时，保温30分钟～2小时；④停止加热，冷却系统至室温，结束硫化。
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