[发明专利]扫描型探针显微镜有效
| 申请号： | 201580078724.0 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN107533083B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q10/04 | 分类号： | G01Q10/04 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够使探针的相对速度变快，并且难以对样品的表面形状的测量结果产生噪声的扫描型探针显微镜。在向X方向以及与X方向相反的方向往返移动时，在切换探针的相对移动的方向时(开始位置P1以及折返位置P2)，使相对速度逐渐地降低之后切换方向，在切换后使相对速度逐渐地上升，防止探针的相对速度急剧地变化。在向Y方向以及与Y方向相反的方向位移移动时(开始位置P1以及折返位置P2)，使探针的相对速度逐渐地上升后，使相对速度逐渐地降低，由此防止探针的相对速度急剧地变化。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
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