[发明专利]探针单元有效
| 申请号： | 201580067621.4 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107003172B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·施密特;安德烈亚斯·克鲁姆布霍尔茨;阿尔明·韦内特;卡伊·乌彭坎普 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
| 主分类号： | G01F23/26 | 分类号： | G01F23/26;G01D5/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆森;戚传江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 至少分段地具有同轴结构的探针单元(1)，包括探针电极(5)、附加电极(6)和布置在探针电极的一段上的接触模块(8)，该接触模块(8)包括至少一个绝缘套筒(13)、具有用于电接触探针电极(5)的至少一个第一导电路径(17)和用于电接触附加电极(6)的第二导电路径(18)的柔性电路板(16)以及模块壳体(20)，其中提供与第一导电路径(17)电接触的第一接触板(19)，并且其中模块壳体(20)包括电接触第二导电路径(18)的第二接触板(24)，其中模块壳体(20)具有带圆筒形壁(25)的锅形几何形状，该壁基本上包围、保护和/或电磁屏蔽至少在布置有接触模块的区域中的探针电极、绝缘套筒(13)的至少一部分以及柔性电路板(16)的至少多个段。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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