[发明专利]对计量目标成像的质量估计及改进有效
申请号: | 201580057887.0 | 申请日: | 2015-10-27 |
公开(公告)号: | CN107111870B | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | B·埃弗拉蒂;Y·帕斯卡维尔 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供方法,所述方法通过以下操作估计计量目标的质量:计算从关于所述目标的周期性结构的周期性对经测量的核心应用傅里叶滤波器导出的其ROI核心的噪声度量;及使用所述计算得到的噪声度量指示所述目标质量。可关于所述周期性结构的垂直片段的周期性对所述经测量的核心垂直地应用额外傅里叶滤波器,且所述(2D)噪声度量可通过应用两个傅里叶滤波而导出。可在统计上分析所述经估计的噪声以提供关于所述目标的各种类型的信息。 | ||
搜索关键词: | 计量 目标 成像 质量 估计 改进 | ||
【主权项】:
一种方法,其包括通过以下操作估计包括至少一个周期性结构的计量目标的质量:计算从关于所述至少一个周期性结构的周期性对经测量的核心应用傅里叶滤波器导出的至少一个对应ROI核心的噪声度量;及使用所述计算得到的噪声度量指示所述目标质量。
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