[发明专利]固态摄像装置及其制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及能够在抑制暗电流的同时也抑制固定电荷膜的脱落的固态摄像装置及其制造方法以及电子设备。固态摄像装置包括：半导体基板，其设置有多个光电二极管；沟槽部，所述沟槽部在所述半导体基板上从光入射侧开始形成在深度方向上，以在相邻的所述光电转换元件之间形成元件分隔单元；第一固定电荷膜，所述第一固定电荷膜被形成为覆盖所述半导体基板的位于光入射侧的平面部的表面；和第二固定电荷膜，所述第二固定电荷膜被形成为覆盖形成于所述半导体基板中的沟槽部的内壁面。例如，本发明能够被应用于背面照射型CMOS图像传感器。

主权项

一种固态摄像装置，其包括：半导体基板，在所述半导体基板中形成有多个光电转换元件；沟槽部，所述沟槽部在所述半导体基板上从光入射侧开始在深度方向上形成，以在相邻的所述光电转换元件之间形成元件分隔单元；第一固定电荷膜，所述第一固定电荷膜被形成为覆盖所述半导体基板的光入射侧的平面部的表面；和第二固定电荷膜，所述第二固定电荷膜被形成为覆盖所述半导体基板上形成的所述沟槽部的内壁面。