[发明专利]离子注入方法和离子注入的玻璃基板有效
| 申请号： | 201580056898.7 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN107074641B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | B·纳维特;P·布朗热;L·温特隆;D·巴萨杜;F·戈尔纳莱克 | 申请（专利权）人： | 旭硝子欧洲玻璃公司;AGC株式会社;奎尔技术工程公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张力更 |
| 地址： | 比利时卢万*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于通过注入简单电荷和多电荷离子增加玻璃基板的耐划伤性的方法，所述方法包括将被处理的玻璃基板的区域的温度维持在小于或等于所述玻璃基板的玻璃化转变温度的温度下，在Ar、He、和N的离子之中选择有待被注入的离子，将用于提取所述离子的加速电压设置为包括在5kV与200kV之间的值并且将离子剂量设置为包括在10 |
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| 搜索关键词： | 离子 注入 方法 玻璃 | ||
【主权项】：
用于通过注入N简单电荷和多电荷离子增加玻璃基板的耐划伤性的方法，所述方法包括：o将被处理的玻璃基板的区域的温度维持在小于或等于所述玻璃基板的玻璃化转变温度的温度下，o将用于提取所述离子的加速电压设置为包括在25kV与60kV之间的值，并且o将离子剂量设置为包括在1014离子/cm2与1017离子/cm2之间的值。
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