[发明专利]高数值孔径物镜系统有效
| 申请号： | 201580052510.6 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107076966B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | L·雷日科夫 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G02B13/14;G03F7/20;G02B27/00;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/47 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种具有高数值孔径、大工作距离和跨越宽光谱带波长的低光学像差的物镜系统。物镜系统包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组。第一透镜组包括被定位成沿着物镜系统的光轴彼此相距一距离的第一和第二弯月透镜。距离可以取决于物镜系统的焦距。第二透镜组包括第一和第二弯月透镜以及双凸透镜。第三透镜组包括双凹透镜和双合透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 数值孔径 物镜 系统 | ||
【主权项】：
一种物镜系统，包括：第一透镜组，包括：第一正弯月透镜，和第二正弯月透镜，被定位成沿着所述物镜系统的光轴与所述第一正弯月透镜相距一距离，所述距离取决于所述物镜系统的焦距；第二透镜组，包括三合透镜，其中所述三合透镜包括：第一弯月透镜，包括第一表面和第二表面，第二弯月透镜，包括第三表面和第四表面，所述第三表面与所述第二表面实质上接触，和第一双凸透镜，包括第五表面和第六表面，所述第五表面与所述第四表面实质上接触；以及第三透镜组，包括：第一双凹透镜；和双合透镜。
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