[发明专利]相位调制设备及激光显微镜在审
| 申请号： | 201580051817.4 | 申请日： | 2015-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN106716220A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 田边绫乃 | 申请（专利权）人： | 西铁城时计株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02F1/01;G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 日本东京都西东*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的相位调制设备(3)具有第1相位调制元件(11)，其根据施加至多个第1电极中的各电极的电压来调制光束的相位，所述多个第1电极形成为，将与由包含物镜(4)的光学系统产生的波像差的第2像差成分相对于第1像差成分的第1比所对应的相位分布反极性的相位调制量赋予光束；第2相位调制元件(12)，其根据施加至多个第2电极中的各电极的电压来调制光束的相位，所述多个第2电极形成为，将与第2像差成分相对于第1像差成分的第2比所对应的相位分布反极性的相位调制量赋予光束；以及控制电路(13)，其根据从物镜到光束的聚光位置为止的距离来控制施加至多个第1电极及多个第2电极的电压。 | ||
| 搜索关键词： | 相位 调制 设备 激光 显微镜 | ||
【主权项】：
一种相位调制设备，其对由包含物镜的光学系统产生的波像差进行校正，所述物镜配置在出射自光源的光的光束的光路中，所述相位调制设备的特征在于，具有：第1相位调制元件，其具有多个第1电极，根据施加至该多个第1电极中的各电极的电压来调制所述光束的相位，所述多个第1电极配置为将消除与所述波像差的第2像差成分相对于所述波像差的第1像差成分的第1比相应的相位分布的相位调制量赋予所述光束；第2相位调制元件，其具有多个第2电极，根据施加至该多个第2电极中的各电极的电压来调制所述光束的相位，所述多个第2电极配置为将消除与所述波像差的第2像差成分相对于所述波像差的第1像差成分的第2比相应的相位分布的相位调制量赋予所述光束，所述第2比小于所述第1比；以及控制电路，其根据从所述物镜到所述光束的聚光位置为止的光路长度来控制施加至所述多个第1电极及所述多个第2电极的电压。
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