[发明专利]使用薄膜腔室的压差测量有效
| 申请号： | 201580030209.5 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN106461498B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·维茨格;西尔维奥·德克尔 | 申请（专利权）人： | 英福康有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 阳开亮 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 泄漏检测装置，用于测量测试腔室(10)和参考腔室之间的压差，所述参考腔室可以被第一止回阀(24)以气密的方式与所述测试腔室(10)分隔；其中压差传感器(34)被连接到所述参考腔室以及所述测试腔室(10)，以便测量所述参考腔室的内部压力和所述测试腔室(10)的内部压力之间的压差；其特征在于，所述测试腔室(10)和所述参考腔室都具有至少一个由柔性薄膜形成的腔壁区域，其中所述测试腔室的体积(20)与所述测试腔室(10)的邻近于所述测试腔室的体积(20)的所述柔性腔壁区域的表面积的比值和所述参考腔室的体积与所述参考腔室的邻近于所述参考腔室的体积的所述柔性腔壁区域的表面积的比值基本相等。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 薄膜 测量 | ||
【主权项】：
1.一种泄漏检测装置，用于测量限定内部体积的测试腔室和限定内部体积的参考腔室之间的压差，所述参考腔室可以被第一止回阀以气密的方式与所述测试腔室的内部体积分隔，所述第一止回阀布置在连接所述测试腔室的内部容积与所述参考腔室的内部容积的气体流动路径中；其中压差传感器被设置在连接到所述参考腔室的内部容积以及所述测试腔室的内部容积的另一条气体流动路径中，以便测量所述参考腔室的内部容积中的内部压力和所述测试腔室的内部容积中的内部压力之间的压差；其特征在于，所述测试腔室和所述参考腔室都具有至少一个由柔性薄膜形成的腔壁区域，其中所述测试腔室的内部体积与所述测试腔室的邻近于所述测试腔室的内部体积的所述柔性腔壁区域的表面积的比值和所述参考腔室的内部体积与所述参考腔室的邻近于所述参考腔室的内部体积的所述柔性腔壁区域的表面积的比值基本相等。
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