[发明专利]功能集成的激光扫描显微镜

摘要

本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，其包括：激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对各种所选运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接，控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式，并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。

主权项

1.一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，并且具有可选的运行模式中的至少两种，其特征在于，激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对每一种可选的运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，检测光路针对每种可选的运行模式在检测装置的同一图像传感器上终止，在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式通过将检测光束耦合输入到不同的检测路径中改变光线引导的、能够控制的光学切换元件，一个检测路径分别固定配设给一个运行模式，在第一检测路径中，检测光束的贯穿引导和影响借助于至少一个相对于底座固定布置在光路中的光学结构组件来设置，在第二检测路径中，设置检测光路围绕所述光学结构组件的围绕引导，其中，在第一检测路径中，在定义的位置上构造出图像平面，在第二检测路径中替代图像平面地构造出光瞳平面。