[发明专利]使用面镜及/或棱镜的激光重复率倍增器及平顶射束轮廓产生器

摘要

本发明揭示一种重复率(脉冲)倍增器，其包含一或多个射束分裂器及棱镜，从而形成具有延迟每一脉冲的能量的部分的不同光学路径长度的一或多个环形腔。一系列输入激光脉冲在所述环形腔中循环且每一脉冲的所述能量的部分在横穿较短腔路径之后离开系统，而所述能量的另一部分在横穿较长腔路径及/或两个腔路径的组合之后离开所述系统。通过所述环形腔光学路径长度的适当选择，输出系列的激光脉冲的所述重复率可变为输入重复率的倍数。可通过选择所述射束分裂器的透射及反射系数来控制所述输出脉冲的相对能量。一些实施例产生基本上在一个维度上平坦的时间平均输出射束轮廓。

主权项

1.一种平顶射束产生器，其包括：/n激光脉冲重复率倍增器，其包含包括射束分裂器、两个球面镜及射束位移器的光学腔，所述激光脉冲重复率倍增器经定位以接收来自激光的输入激光脉冲，使得所述输入激光脉冲经引导到所述光学腔中且作为具有是所述输入激光脉冲的重复率的至少两倍的输出脉冲重复率的输出激光脉冲离开所述光学腔，/n其中所述光学腔经配置以使得来自所述激光的每一所述激光脉冲输入沿着由所述两个球面镜限定的多个光学路径被引导，其中所述多个光路中的每一者穿过所述射束位移器和所述射束分裂器，/n其中所述射束位移器经配置以将沿着所述多个光学路径中的第一光学路径被引导的所述每一激光脉冲横向移位到所述多个光学路径中的第二光学路径，且/n其中所述射束分裂器经配置以反射沿着所述第一光学路径和所述第二光学路径穿过的所述激光脉冲的部分，以使得经反射的所述部分分别形成第一输出激光脉冲和第二输出激光脉冲，所述第一输出激光脉冲相对于所述第二输出激光脉冲横向移位，使得所述第一输出激光脉冲和所述第二输出激光脉冲的时间平均输出强度具有在所述横向移位的方向上的基本上平坦轮廓。/n