[发明专利]固定磨粒钢线及线锯并用的工件的切断方法有效
| 申请号： | 201580025826.6 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN106413993B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 加藤忠弘 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24B27/06;B24D3/00;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人： | 许天易 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为一种固定磨粒钢线，于芯线的表面固着有磨粒，其中于该芯线的表面中，其每单位面积的该磨粒的个数的磨粒数密度为1200个/mm2以上，且全部的各磨粒间的重心间距离的分布当中，全磨粒的平均圆相当直径以下者所占据的比例为2％以下。如此一来，借由提供一种固定磨粒钢线及线锯并用的工件的切断方法，能抑制工件切断中的固定磨粒钢线的蛇行，并能改善自工件所切出的晶圆的TTV、Warp。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 磨粒钢线 并用 工件 切断 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固定磨粒钢线，于芯线的表面固着有磨粒，其中于该芯线的表面中，其每单位面积的该磨粒的个数的磨粒数密度为1200个/mm2以上，且全部的各磨粒间的重心间距离的分布当中，全磨粒的平均圆相当直径以下的该各磨粒间的重心间距离所占据的比例为2％以下。
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