[实用新型]一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测设备有效
| 申请号： | 201520931499.8 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN205607567U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张加宏;赵阳;顾芳;陈剑翔;张月香;沈雷 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L1/26 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测设备，包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组，所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列，压力传感器组具有M种量程压力传感器，同时M种量程的压力传感器各具有N个，其M，N为任意数，所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列，温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧，相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器；本实用新型所述的一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测装置实现了压力测量的高可靠性与高稳定性，可应用于各种恶劣的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多量 阵列 压力 传感 芯片 及其 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种多量程阵列式压力传感芯片，其特征在于，包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组，所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列，压力传感器组具有M种量程压力传感器，同时M种量程的压力传感器各具有N个，其M，N为任意数，所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列，温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧，相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器。
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