[实用新型]基于组合透镜法的光栅尺三探头焦距测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于组合透镜法的光栅尺三探头焦距测量装置，属于光学精密测量技术领域中的基于组合透镜法测试焦距的测量装置和，其目的在于提供一种基于组合透镜法的光栅尺三探头焦距测量装置。该测量装置可实现在标准透镜参数未知的情况下的焦距测量；极大缩短了待测透镜的空间测量长度，可实现大口径近轴焦距检测；利用干涉条纹和光栅尺探头准确定位标准透镜以及组合透镜焦点位置，减小了球差的影响；将常规组合透镜方法中两透镜顶点之间的距离检测转换为标准透镜移动距离的检测，简化了测量方法并有效的提高了该距离值的检测可靠性。该装置具有结构简单、测量精度高、测量简单便捷等优点。

主权项

一种基于组合透镜法的光栅尺三探头焦距测量装置，其特征在于：包括干涉仪系统（1）和光栅尺（2），所述光栅尺（2）上沿光栅尺（2）的长度方向依次设置有第一支架（21）、第二支架（22）和第三支架（23），所述第一支架（21）、第二支架（22）和第三支架（23）可分别单独沿光栅尺（2）的长度方向移动；所述第一支架（21）的连接端、自由端分别连接有第一探头（3）、标准透镜（4），所述第二支架（22）的连接端、自由端分别连接有第二探头（5）、待测透镜（6），所述第三支架（23）的连接端、自由端分别连接有第三探头（7）、平面反射镜（8）；所述干涉仪系统（1）出射的准直激光依次经标准透镜（4）、待测透镜（6）后聚焦在平面反射镜（8）上，并在平面反射镜（8）上产生反射形成反射激光，反射激光依次经待测透镜（6）、标准透镜（4）后进入干涉仪系统（1）。