[实用新型]一种拉晶炉有效
| 申请号： | 201520679139.3 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN204959079U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;刘栓红;赵丽萍;张文涛;蔡水占;郭晶晶;张会超;陈永平;王东胜;惠小青;辛世明;田红丽 | 申请（专利权）人： | 河南鸿昌电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河南省许昌*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，是一种拉晶炉，包括炉架，在炉架上有上下设置的引导杆，还有加热盘穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置，所述的加热盘里面有加热管，在炉架上有加持晶棒的加持部件，所述的加热盘、升降装置是多个的，所述的引导杆是和加热盘对应的组数，每个加热盘分别穿插在一组引导杆中，每个加热盘连接一个升降装置，所述的加热盘在炉架中间从左至右设置或平面阵列，所述的加热盘下面连接冷却盘，加热盘和冷却盘之间有保温材料，所述的冷却盘内部有冷却液的循环管，冷却液的循环管连接冷却液的输送装置，这样的拉晶炉具有产量高、可以生产多组规格晶棒的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉晶炉 | ||
【主权项】：
一种拉晶炉，包括炉架，在炉架上有上下设置的引导杆，还有加热盘穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置，所述的加热盘里面有加热管，升降装置运行可以实现加热盘的升降，加热盘中间有一个或多个穿插晶棒的加热孔，在炉架上有加持晶棒的加持部件，加持部件在加热孔上面和下面的炉架上设置，其特征是：所述的加热盘、升降装置是多个的，所述的引导杆是和加热盘对应的组数，每个加热盘分别穿插在一组引导杆中，每个加热盘连接一个升降装置，所述的加热盘在炉架中间从左至右设置或平面阵列。
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