[实用新型]一种防静电封测小转盘有效

专利信息
申请号: 201520656329.3 申请日: 2015-08-27
公开(公告)号: CN204991674U 公开(公告)日: 2016-01-20
发明(设计)人: 张巍巍 申请(专利权)人: 江苏格朗瑞科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215123 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种防静电封测小转盘,包括小转盘本体,小转盘本体上设置有凹槽,凹槽内设置有真空孔;凹槽内对应真空孔设置有引脚,引脚与凹槽的侧壁之间填充有金属垫块;对应凹槽设置有导电块,导电块连接至封测设备本体并接地设置;真空孔中设置有导线孔,导线孔中设置有接地线,接地线的一端连接至凹槽的槽壁,另一端接地设置;真空孔内还设置有离子发生器。该实用新型首先通过接地的导电块消除凹槽表面的静电,同时通过在真空孔内的接地线将凹槽内部静电导出消除,并通过离子发生器进一步出去产品的静电,可以有效消除静电以保证产品的质量。
搜索关键词: 一种 静电 封测小 转盘
【主权项】:
一种防静电封测小转盘,其特征在于,包括小转盘本体,所述小转盘本体上沿径向圆周均匀设置有凹槽,每个所述凹槽内均设置有两个并列的真空孔;所述凹槽内的设置有四个引脚,四个所述引脚的端面对应所述真空孔,所述凹槽的四个所述引脚与所述凹槽的侧壁之间填充有金属垫块;对应所述凹槽设置有导电块,所述导电块连接至封测设备本体并接地设置以引出表面静电;所述真空孔中设置有导线孔,所述导线孔中设置有接地线,所述接地线的一端连接至所述凹槽的槽壁,另一端接地设置以引出内部静电;所述真空孔内还设置有离子发生器,以用于产生离子以消除产品表面静电。
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