[实用新型]扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台

摘要

本实用新型公开了一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括底座，底座包括立体部和位于立体部上的梯形部，梯形部底角为65°-70.5°，梯形部的其中一倾斜侧面上设有可容纳镶嵌试样的柱状凹槽，通过紧固件固定镶嵌试样，另一倾斜侧面上设有可容纳未镶嵌试样的矩形凹槽，通过压紧件固定未镶嵌试样，柱状凹槽和矩形凹槽分别垂直于各自所在的倾斜侧面。本实用新型具有结构简单、测试试样定位精确、扫描图像稳定等优点。

主权项

一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）包括立体部（11）和正立于所述立体部（11）上的梯形部（12），所述梯形部（12）的底角为65°‑70.5°，所述梯形部（12）的其中一倾斜侧面上设有可容纳镶嵌试样的柱状凹槽（2），通过紧固件（3）固定镶嵌试样，另一倾斜侧面上设有可容纳未镶嵌试样的矩形凹槽（4），通过压紧件（6）固定未镶嵌试样，所述柱状凹槽（2）和矩形凹槽（4）分别垂直于各自所在的倾斜侧面。