[实用新型]一种光罩护膜清洁装置

摘要

本实用新型提供一种光罩护膜清洁装置，该装置至少包括：底座和该底座两侧的滑轨；与每个滑轨匹配的滑块；连接于滑块间的除尘模块及扫描探测模块；两个滑轨的同一端设有凹槽，凹槽中嵌有挡板；除尘模块上设有进气口及若干出气口；进气口连接有进气管路；扫描探测模块包括：线传感器、散射光接收透镜以及激光束；底座上设有集气罩；集气罩与底座接触区域设有密封圈；集气罩上表面设有排气孔。本实用新型在光罩护膜上方使用一套密封进气和出气的装置，移动于光罩护膜上表面的除尘模块使得光罩护膜与除尘模块在清洁过程中始终保持一定距离而不会损坏光罩护膜；同时采用扫描探测模块提高了光罩护膜表面清洁度；提高了产品良率以及保证了产品的交期。

主权项

一种光罩护膜清洁装置，其特征在于，所述装置至少包括：用于承载光罩护膜的底座；位于该底座及所述光罩护膜两侧的滑轨；与所述每个滑轨匹配的滑块；连接于所述滑块之间且位于所述光罩护膜正上方的除尘模块及扫描探测模块；所述两个滑轨的同一端分别设有凹槽，所述凹槽中嵌有挡板；所述除尘模块上设有进气口以及若干出气口；所述进气口连接有进气管路；所述扫描探测模块至少包括：线传感器、散射光接收透镜以及激光束；所述底座上设有将所述光罩护膜、滑轨、滑块、除尘模块及扫描探测模块容纳其中的集气罩；所述集气罩与所述底座接触区域设有密封圈；所述集气罩上表面设有排气孔。